半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高品质首测生活设施涉重废水处理——MVR强制性要求间歇零排业务
的项目历史背景
光电器件芯片舒适公测产品,大小150万立方/天,是首家光电器件芯片公测生活设施涉重废污水零排产品。公测原则的镀镍、镀铜、引线框架图清理会行成含镍含铜废污水,小区的标准"无尾水外排",产水整体造纸废水处理于产线。
水硬度本质特征与重点难点
焦化废水以含镍遵循(质量浓度10–100毫克/升),伴一少部分铜、锌,pH下跌大(2–12),还是光刻胶留的一少部分有机化学物。首测厂地方紧,标准办理设施设备占地面积小;零排代表着着浓水没有土石方更多,肯定本地服务蒸馏成果前馈。
清工院艺的路线
建筑体走"分质搜集 → 预治疗除杂 → 生物水解除镍 → 筛选 → UF+两极RO → MVR强制性间歇蒸发器 → 空气冷却水循环":
含镍线先调pH到10–11,添加氢防氧化反应钠自动生成Ni(OH)₂石雕文化沉淀,加个加硫钠厚度收集多余镍(加硫镍Ksp比氢防氧化反应镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升下类);
水解满水后经多物料吸附+门卫吸附后进UF,再进两级RO,产水之间回产线进行维护清洁;
RO浓水(含盐+残存高价属)进MVR立即重复冷凝器器,立即重复能扛高含盐积垢,冷凝器器原带在线免费刷洗,后易堵;
MVR冷凝器水来到中水回用多角水池,蒸发掉残液委外焚烧炉或做危险废物处治,正个作业区无固体外排。
的关键主设备缺点代表
MVR硬性无限循环法差距各种类型降膜挥发,无限循环法气速高、换热面不可结镍盐/碳酸盐垢,可以公测种"需水量不多但水环境杂"的场所;分立式化撬装设计方案格式拆迁赔偿比以往挥发塘+多效挥发方案格式小60%以上的;臭味侧配备微生物滤池,把改善池和厌氧颗粒污泥间的臭味获得后挥发成CO₂和水,杜绝公测厂相邻办公楼区的有异味投拆。
进行处理郊果与前景
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远高于《电渡空气污渍废气规范标准规范标准》表三;另一个150立米米/天产水回收于公测产线洗,方式等量鲜新水;垃圾(蒸发器残液+污水)量比传统与现代"析出+废气规范标准"策略减约70%。对富士康侧,公测活动绿色准入条件卡点打伤通;