某半导体设备存储芯片手工我们在晶圆加工加工全过程中,选择硅烷完成硅外延性滋生,废气排放清洗塔行成高密度含硅生活污水。生活污水拥有pH跌涨大(2-11)、硅含量高的特殊性,傳統加工形式易发生硅垢堵塞了事情。
废水处理组成成分及的来源
生产废水重点物质为:
降解性硅酸盐
:SiO₂溶液浓度达1000-1500mg/L
磷酸/氢氧化物钠
:洗衣机清洗塔强酸强碱洗衣机清洗液留下
颗粒肥料硅
:奈米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:原辅材料硫氰酸盐带进去
净化处理的生产流程图步骤
创新发展使用"两极结合+膜滤过+挥发凝结"工艺技术:
一层中合
:用CaO调准pH至4-5,转成硅酸钙沉淀物,硅彻底清除率60%。
二级考试结合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进步骤放置结余硅,并接用镁剂除砷。
反渗透装置体统
:0.02μm瓷质膜滤水奈米级硅粒子,通量安全稳定在80LMH。
MVR蒸发掉器
:原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 高盐电镀废水,晶粒出Na₂SO₄副类产品,水工业废水处理率超90%。
最中功能
总硅从1500mg/L高于5mg/L以上
砷纯度从0.8mg/L降落到0.01mg/L
程序无积灰启用可超过2年
第年收集硝酸钠钠结晶约800吨