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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆生产的线整套搭配的超净水软件,每天都在存在含硅废气150吨。废气中虽无高价属,但硅含水量高易水垢,且热敏电阻率需提高18MΩ·cm才可造纸废水治疗。和原有治疗工艺设备是没办法够满足新废止的《光电行业水污染问题物废气排放出的标准》(GB39731-2020)尤其废气排放出标准值。 化工废水材质特征 基本影响物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、科粒硅(比表面积0.1-1μm) 特殊性需要 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 水质标准性状 :低电阻率(<50μS/cm)但硅化学物质要素有难度 治理 技艺程序 不断创新选取"梯级膜转移+电去铝离子"组和新工艺: 微滤预进行处理 :1μm陶瓷制品膜拦阻大顆粒硅,通量维护80LMH 化合物对换光敏树脂 :D201大孔硅橡胶选性降解硅酸原子核 三级RO控制系统 :最段环保再生资源回加标回收率60%,第二个段采用了高脱硼膜pcb板 EDI电去化合物 :电流大小体积2A/m²,长期清除残渣阳离子 分光光度计消毒杀菌 :254nm太阳光的红外光线线使用量40mJ/cm² 技木优点 搭建专业阻硅剂(有机酸胺类pp物),延长时间膜环保问题时间段3倍 EDI传感器全新流道构思,硅取除率上升至99.8% 优酷云硅剖析仪(检测的使用范围0.1-500μg/L)保证 精淮操纵 自动运行实效 经3.方测量: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼浓度从8μg/L下降0.3μg/L 体统回笼率从原40%升高至68% 膜更換周期公式增加至5年,年运营料工费大幅度降低35%

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