項目情况
某技术半导体鑫霖环保芯片加工制造品牌座落长角形东北部,大部分加工晶圆和鑫霖环保芯片。在加工操作过程中,晶圆激光切割和增加光泽价段会产生大量的考虑液焦化废水,平均的排缩量上涨约50吨。会因为焦化废水内具有高溶液浓度飘浮物、金属件阴离子及有机肥料更改剂,简单的排放出会对室内环境构成加重造成的污染,品牌亟需项目建设技术操作设备。
电镀废水材质及主要来源
打磨液生活污水基本由来于晶圆生产中的化学物质设备磨光(CMP)制作工序,基本生态破坏物例如:
浮动颗粒剂物
:二空气腐蚀硅、空气腐蚀铝等机磨颗粒物,颗粒直径在0.1-1μm,密度将高达2000mg/L。
金属材料铝离子
:铜、铁、锌等,来自于增加光泽垫轮胎磨损及晶圆表面层废金属层,铜阴离子含量约50mg/L。
无机增添剂
:收录外表生物剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性有害物质
:pH值波动性大,常常在2-11直接。
治理生产工艺程序
对应污水性能指标,选取“预净化处理+什么是生化+深度的净化处理”三人组合工艺设备:
转换池
:均衡化饮用水排水量,获取强酸强碱自动调节pH至碱性。
水泥混凝土沉积
:加药PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),快速清理浮悬物和悬浊液,沉降后SS快速清理率>90%。
催化反应空气氧化
:选择Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解无机放入剂,COD清除率达60%。
海洋生物整理
:MBR膜怪物不良流化床反应器进一大步溶解结余有机酸物,COD减少为100mg/L接下来。
阴阳离子互换
:专门用树脂胶吸附物铜阴离子,溢水铜占比<0.5mg/L。
砂滤+特异性炭进行过滤
:事关出水出水清清的,提高《生活污水规定单位化废气规定单位》(GB8978-1996)1级规定单位。
既定体验
程序使用安全稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
造纸生活污水处理率达40%,剩的及格废气排放出,年以减少生活污水废气排放出1.10万吨。
解决资金约15元/吨,远如果低于职业均衡。